設備外觀
核心價值
降低人工干預，提升一致性
支援自動取放與穩定輸送，降低人工作業造成的節拍波動與接觸風險，協助製程維持一致性。
可與上下游設備聯機
適配 DSP 工藝產線的整合需求，可與上下游設備進行聯機使用，協助導入自動化流程。
面向大尺寸衬底搬運場景
針對大尺寸矽片衬底的搬運與上下料需求設計，提供穩定傳輸機構以支援產線運行。
重點說明
| 產品定位 | DSP 工藝用大尺寸矽片衬底自動上下料設備 |
|---|---|
| 主要功能 | 自動取放、穩定傳輸、降低人工干預 |
| 適用場景 | 大硅片衬底 DSP 工藝產線；可與上下游設備聯機使用 |