DXL-A1018｜12 吋晶圓快速篩選量測系統
丹東新東方晶體儀器提供以 X-Ray 量測為核心的晶圓定向/Notch 與端面相關參數量測方案。DXL-A1018 針對 12 吋晶圓快速篩選與分級需求設計，支援自動化產線對接（如 SECS/GEM、E84 等），並可依精度需求提供不同配置。
產品介紹
自動化快速篩選｜12 吋晶圓量測與分級
DXL-A1018 以自動化節拍為目標，將晶向/Notch 相關量測與資料輸出整合於同一設備流程，適用於產線 快速篩選、分級與追溯需求。可依需求選配不同精度規格（如 ±0.008° 或 ±0.004°）。
- 雙精度配置選項：±0.008° / ±0.004°
- 支援自動化產線對接：SECS/GEM、E84、UDP、TCP/IP
- 可搭配條碼/ID 追溯與資料輸出流程（依實際配置）
主要規格
| 適用尺寸 | 12 吋（300 mm）晶圓 |
|---|---|
| 量測架構 | 雙 X-Ray 架構：同步量測晶圓端面四向與 Notch/參考邊（依文件描述） |
| 晶向判定 | <111> / <110> / <100> |
| 角度量測範圍（參考） | X 軸 ±75°；Y 軸 ±60° |
| 量測精度（選配） | ±0.008° / ±0.004° |
| 上料/載具相容 | FOUP／FOSB／Ring Frame Cassette；可對接 OHT/AGV（依文件描述） |
| Loadport 配置 | 標準 3 個 Loadport（可擴展） |
| 分揀/輸出 | 支援 OK/NG 分揀；可依需求建立晶圓 ID 檔案追溯流程 |
| 通訊/自動化 | SECS/GEM、E84、UDP、TCP/IP |
| 產能（參考） | 晶向分揀約 50 片/小時；角度量測（單方向）約 60 片/小時 |
註：以上為原廠文件之參考描述；實際配置、節拍與驗收條件請以報價與規格書為準。
適用情境
12 吋晶圓晶向分級/分揀
面向量產分選與來料檢驗，支援依晶向進行快速分級與分揀；晶向判定包含 <111> / <110> / <100>（依原廠文件）。
Notch／參考邊同步量測
雙 X-Ray 架構可同步量測晶圓端面四向與 Notch/參考邊資訊，並支援角度量測範圍（參考）：X 軸 ±75°、Y 軸 ±60°。
自動化產線對接與追溯
相容 FOUP/FOSB/Ring Frame Cassette，標準 3 個 Loadport（可擴展），可對接 OHT/AGV；通訊支援 SECS/GEM、E84、UDP、TCP/IP，便於與 MES/自動化系統整合。
常見問題（FAQ）
Q：DXL-A1018 的量測精度有哪些選項？
A：原廠文件提供兩種精度規格：±0.008°（標準）與 ±0.004°（高精度配置）。
Q：可支援哪些自動化/通訊協定？
A：支援 SECS/GEM，並可搭配 E84 通訊；同時提供 UDP、TCP/IP 等介面，便於對接產線與 MES。
Q：可相容哪些載具？Loadport 有幾個？
A：文件描述相容 FOUP / FOSB / Ring Frame Cassette；標準配置為 3 個 Loadport（可擴展），並可對接 OHT/AGV。
Q：角度量測範圍是多少？
A：原廠文件提供參考範圍：X 軸 ±75°、Y 軸 ±60°（實際以配置/驗收為準）。
Q：產能如何評估？
A：文件提供參考節拍：晶向分揀約 50 片/小時；角度量測（單方向）約 60 片/小時。實際會受量測策略與來料狀態影響。